Wie vorangegangene Entwicklungen sind auch die Mikrofokus-Röntgengeneratoren äußerst kompakt und als ein Gerät modular aufgebaut. Neben der üblichen Hochspannungs- und Filament Versorgung übernehmen diese Generatoren auch die Grid-Versorgung, welche zur Erzeugung eines eng begrenzten Röntgenstrahls (wie z.B. in Röntgenmikroskopen) erforderlich ist.